SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。
激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。
● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
● 可實現龍門機床雙軸同步測量；
● 可實現對機床回轉軸的測量與校準；
● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
● 具有動態測量與分析功能‘’
● 支持手動或自動進行環境補償。
● 友好的人機界面；
● 豐富的應用功能模塊；
● 向導式的操作流程；
● 簡潔化的記錄管理；
● 支持中文、英文和俄文界面；
● 支持企業專屬模板定制。
